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极紫外平面反射镜

简要描述:极紫外平面反射镜
最大可实现 13.5nm 反射
专为极紫外线光束转向和谐波分离而设计
5°和45°自动光学检验的可用版本

  • 产品型号:
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2024-03-25
  • 访  问  量:249

产品介绍

品牌Edmund Optics

极紫外平面反射镜通用规格:

直径 (mm):
25.40 ±0.25
表面平整度 (P-V):
λ/10 @ 632.8nm
基底:
Single Crystal Silicon
涂层:
Mo/Si Multilayer
Top Layer: Silicon
镀膜类型:
Metal/Semiconductor
表面粗糙度(埃):
<3 RMS
厚度 (mm):
6.35 ±0.508
厚度容差 (mm):
0.508
产品编码Dia. (mm)表面平整度 (P-V)基底
38-75925.40 ±0.25λ/10 @ 632.8nm Single Crystal Silicon 
38-76025.40 ±0.25λ/10 @ 632.8nm Single Crystal Silicon 

极紫外平面反射镜是多层反射镜,在其设计波长和入射角下实现最大反射率。这些反射镜的特点是反射涂层沉积在一个超抛光的单晶硅基板上,表面粗糙度小于3Å RMS. 45°自动光学检验反射镜可用于转向s偏振光束,而 5° 自动光学检验反射镜可用于非偏振光束. 极紫外线反射镜的应用包括相干衍射成像 (CDI) 和材料科学研究。紫外平面反射镜也可用作高次谐波 (HHG) 光束的谐波选择器.

注意: 附带每个反射镜运行样本的测试数据.


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