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产品详细页

One-XY 中行程集成 XY 线性平移台

简要描述:One-XY 中行程集成 XY 线性平移台在薄型设计中集成了 X 轴和 Y 轴,具有出色的定位精度、平坦度、平直度、刚度、MIM 和可重复性。

集成 XY 平台,内部采用正交设计
平面度佳,平直度和平整度达微米级
薄型三板设计,可减少堆叠误差并提高刚度
高效、非齿槽线性电机
线性编码器,可实现纳米级 MIM 和重复性

  • 产品型号:
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2024-07-25
  • 访  问  量:222

产品介绍

品牌Newport/美国价格区间面议
产地类别进口产品种类电动
应用领域综合

One-XY 中行程集成 XY 线性平移台产品规格

型号image.png
ONE-XY60ONE-XY100ONE-XY200ONE-XY300
电动轴XYXYXYXY
行程范围50 mm90 mm190 mm290 mm
最大速度200 mm/s200 mm/s200 mm/s200 mm/s
最小位移增量50 nm50 nm50 nm50 nm
最大加速度0.3 G0.3 G0.2 G0.2 G
连续运动力10 N10 N20 N53 N
峰值驱动力21 N21 N42 N107 N
中心负载能力100 N120 N150 N350 N
精度,典型值±0.4 µm±0.5 µm

精度,保证值 1±1.5 µm±2.0 µm±2.5 µm±3.0 µm
双向重复精度,典型值±0.040 µm±0.040 µm

平面度,典型值±0.5 µm±1.0 µm±2.0 µm±3.0 µm
直线度,典型值±0.5 µm±1.0 µm±2.0 µm±3.0 µm
俯仰,典型值±15 µrad±20 µrad

俯仰,保证值±55 µrad±65 µrad±75 µrad±90 µrad
偏摆,典型值±15 µrad±25 µrad

偏摆,保证值±55 µrad±65 µrad±75 µrad±90 µrad
滚转,典型值±29 µrad±29 µrad±36 µrad±24 µrad
正交性 296 µrad96 µrad96 µrad96 µrad
原点重复精度±0.1 µm±0.1 µm±0.1 µm±0.1 µm
电缆长度3 m3 m3 m3 m
宽度125 mm184 mm275 mm500 mm
重量2.9 kg5.8 kg12 kg75 kg
MTBF20,000 h (25% load, 30% duty cycle)20,000 h (25% load, 30% duty cycle)20,000 h (25% load, 30% duty cycle)20,000 h (25% load, 30% duty cycle)
RoHS
注释:

高精度(HA)版本可供选择。在安装表面上方 50 毫米处,位移台中心线上测量的规格。 Newport 提供 NIST 可追溯的测试结果。

  1. 对于ONE-XY-HA 版本,保证精度有所不同。

  2. 对于ONE-XY-HA 版本,垂直度降低到 5 µrad。

One-XY 中行程集成 XY 线性平移台特征

刚度增强

为实现更好的稳定性,交叉滚子轴承的宽间隔和厚中间板确保可针对悬臂负载提供更高的刚度。

微米级平直度和平整度

由于 ONE-XY 精密的表面处理和交叉滚子轴承,它实现了微米级的平直度和平整度。

无铁心线性电机

高效率,无铁心线性电机具有更高的速度、加速度和系统响应性的优点,而不会磨损电机电刷或驱动螺杆,从而显著减少发热量。此外,无铁心线性电机的非齿槽特性确保了出色的速度稳定性。无铁心电机不仅可以提供这些优点,还能实现高产量和高可靠性。


集成的 X 轴 和 Y 轴

ONE-XY 最显着的特点是其 3 板设计,同时允许在 X 和 Y 方向上移动,且比堆叠平移台更薄。设计中内置有正交性,因此提高了 XY 精度。


Compatible Controllers

Compatible motion controllers for these linear motor driven stages are:


●XPS-RLD Motion Controller (2 or 4 Axis): Requires an XPS-DRV02 Driver Module and a E5820A Encoder Adapter for each axis.

●XPS-D Motion Controller (2 , 4 , 6  or 8 Axis): Requires an XPS-DRV02 Driver Module and a E5820A Encoder Adapter for each axis


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