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产品详细页

MLT-Z系列超高精度线性电机垂直位移台

简要描述:MLT-Z系列超高精度线性电机垂直位移台紧凑、薄型、高精度线性平台将 XM 系列的超精密性能与紧凑型 VP 线性平台系列相结合。MLT-Z垂直位移台通过磁性弹簧平衡系统保持出色的定位性能。

MLT位移台非常适合半导体、工业或研究市场中的典型扫描或点对点应用,用于计量、传感器测试和校准、对准以及拾放组装。

最佳MIM和精度
经过FEM优化的坚固铝制机身可防止热弯曲效应

  • 产品型号:
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2024-03-25
  • 访  问  量:140

产品介绍

品牌Newport/美国价格区间面议
产地类别进口产品种类电动
应用领域综合

MLT-Z系列超高精度线性电机垂直位移台产品规格

型号
image.png
MLT25-ZMLT50-Z
行程范围25 mm50 mm
最小位移增量5 nm5 nm
最大速度500 mm/s500 mm/s
最大加速度0.5 g0.5 g
最大持续力3 N3 N
中心负载能力5 N5 N
精度,保证值±0.5 µm±0.7 µm
双向重复精度,保证值±0.15 µm±0.15 µm
俯仰,保证值±50 µrad±75 µrad
偏摆,保证值±50 µrad±75 µrad
典型平面度±1 µm±2 µm
直线度,保证值±1 µm±2 µm
驱动方式Ironless MotorIronless Motor
反馈1 Vpp 20 µm pitch1 Vpp 20 µm pitch
电缆长度2.9 m2.9 m
重量3.0 kg3.2 kg
Compliance

MLT-Z系列超高精度线性电机垂直位移台特征

可靠的设计

每个MLT平台的底座均采用高强度铝合金制成,并通过有限元方法 (FEM) 进行了优化,以获得最佳的刚性和热性能。选择部件,如长寿命和高负载交叉滚子轴承、大力直线电机和高精度直线编码器,兼顾性能和可靠性。内置限位开关可防止超程和碰撞。为了保证MLT的高可靠性,进行了大量的试验。

Ironless Motor

MLT series stages are equipped with MKS designed ironless motors that include hall effect sensors and thermistor in a very compact size. Compared to iron core motors, the main advantage of ironless motors is better speed stability (no cogging) and shorter settling time, which is critical for fiber alignment applications.


低运维成本

MLT 系列紧凑、薄型和快速平台占用更少的空间,以更高的加速度和速度运行,降低了运行成本。 此外,由于它们的高可靠性设计,它们需要的初始投入低且需要的维护更少。


多种配置

MLT 系列还提供 线性平移台,行程范围为25 mm至250mm。可以利用可用的安装孔内置到XY叠堆中。预组装的XYZ叠堆可在短行程25毫米和50毫米范围内使用。


平衡板

垂直平移台配有4个可拆卸的磁性平衡板,以适应一系列垂直负载,同时保持出色的定位性能。使用的平衡板数量取决于客户的有效负载。

即插即用 ESP 兼容

MLT 兼容支持即插即用 ESP 技术的 XPS 系列标准 MKS 控制器,无需复杂的驱动程序配置即可轻松启动。 (注意XY配置需要手动设置参数。)

负载特性

Compatible Controllers

Compatible motion controllers for these XM series linear motor/direct drive driven stages are:


●XPS-RLD Motion Controller (2 or 4 Axis): Requires an XPS-DRV11 Driver Module.

●XPS-D Motion Controller (2 , 4 , 6  or 8 Axis): Requires an XPS-DRV11 Driver Module.

See our Stage-Controller Compatibility technical note for complete stages and controllers compatibility. 

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