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极紫外 (EUV) 二向色滤光片

简要描述:极紫外 (EUV) 二向色滤光片
在高次谐波发生器中将极紫外(EUV)与近红外激光源分开
专为高损伤阈值设计
支持从10 - 40纳米的应用
现货储备
无最小起订量、无镀膜批次收费

  • 产品型号:
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2024-03-27
  • 访  问  量:101

产品介绍

品牌Edmund Optics价格区间面议
组件类别光学元件应用领域综合

极紫外 (EUV) 二向色滤光片

在高次谐波发生器中将极紫外(EUV)与近红外激光源分开

专为高损伤阈值设计

支持从10 - 40纳米的应用

现货储备

无最小起订量、无镀膜批次收费


通用规格

直径 (mm):
50.80
入射角 (°):
78
基底:
Fused Silica (Corning 7980)
涂层:
Dielectric Multilayer AR
表面质量:
20-10
厚度 (mm):
5.08 ±0.1
平行度(弧分):
<5
尺寸容差 (mm):
+0.0/-0.2
面形计算 (RMS):
<λ/10 @ 633nm


型号


产品编码Dia. (mm)厚度 (mm)波长范围 (nm)
18-27950.80 5.08 ±0.110 - 25 
18-28050.80 5.08 ±0.120 - 40 


详细资料

极紫外(EUV)二向色滤光片也被称为分束镜,是通过在极紫外(EUV)和近红外波长之间提供高分离效率,用于高次谐波产生的应用。这些滤光片采用熔融石英基片,相比其他布鲁斯特角光束分离器和极紫外(EUV)滤光片,能支持更高的激光功率。极紫外(EUV)二向色滤光片的带宽范围从10纳米到40纳米。 除了高次谐波产生,这些滤光片还可用于支持极紫外(EUV)应用的系统,如EUV光刻、EUV纳米加工、相干衍射成像和超快阿秒脉冲产生。


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