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| 品牌 | 泊勋 | 应用领域 | 综合 |
|---|
Ø 工作原理
1. 激光聚焦在样品表面，光谱仪采集样品的发射光谱。
2. 样品经 X、Y 轴扫描，获取每个坐标点的光致发光光谱；Z 轴调节物镜，保持样品聚焦。
3. 采集数百万条光谱后，分析软件提取峰值能量与强度，生成高分辨率、高对比度物理图像。
Ø 核心功能覆盖
该显微光谱系统采用模块化设计，使研究人员能够快速切换波长范围与实验配置，更换波长组件操作简易，五分钟内即可完成
除光致发光(PL)分析外，该系统还可进行显微拉曼光谱，显微反射光谱和显微光电流的采集与分析。
核心优势
Ø 模块化设计与多功能集成
模块化设计 | 多功能集成 |
Mini Pro 显微光谱系统采用通用型光学设计和模块化设计，研究人员可通过更换波长组件模块，快速切换波长范围和实验配置。 | 显微光致发光（PL）分析 |
显微拉曼（Raman）光谱分析 | |
显微光电流分析 | |
X、Y、Z 三轴扫描 | |
电致发光分析 | |
TRPL荧光寿命分析 | |
低温测量分析 |
Ø 自动对焦
自动对焦 | 关键参数 |
自研技术，适配样品粗糙 / 倾斜 / 弯曲表面，激光光斑始终聚焦 | 宽光谱：200–1700 nm |
空间分辨率：亚微米级（0.35 μm） | |
光谱采集量：数百万条 | |
内置防护罩，隔绝温差 / 灰尘 / 环境光干扰 | 软件：快速峰值拟合 |
成本：经济实用，支持定制 |
技术规格
类别 | 具体参数 |
激发波长 | 266–980 nm |
样品XY扫描台 | 行程范围：5mm或10mm 重复精度：20nm |
物镜Z扫描台 | 行程范围：400μm 重复精度：5nm |
采集时间 （积分时间10ms时） | 100μm×100μm, 0.5μm步长：6min 5mm×5mm，50μm步长：2min 5mm×5mm，5μm步长：3h |
样品观察 | LED、单色相机 |
电源 | 120V、60Hz |
数据接口 | USB 3.0 |
尺寸重量 | 43cm×38cm×58cm，14Kg |
| 软件分析系统
GPU分析加速 | 采用GPU加速峰拟合技术， |
可在一小时内完成数百万条光谱的拟合运算， | |
支持对多重特征峰进行拟合， | |
用户可选择使用标准函数或自定义函数。 | |
数据分析功能 | 快速提取每条光谱的峰值能量与强度， |
生成高分辨率、高对比度物理图像， | |
伪彩色图像直观展示特征峰参数 （如能量单位eV） |
典型应用与科研案例
Ø 绿色发光二极管 (LED) 缺陷识别
下图为绿色发光二极管 (LED) 的光致发光 (PL) 图谱，分别展示了该绿色LED缺陷处发光峰的强度与峰值能量。
该实验是通过将环氧树脂覆盖在LED芯片上形成的一个透明的、呈半球形的凸点进而测量完成的。
Ø 半导体合金成分与相分布
通过峰值分析，可用于分析材料的物理性质，如化学成分。
下图展示了碲锌镉（CdZnTe）中锌 (Zn) 含量的空间分布变化。
Ø 低温发致发光测量
该低温测量组件包括—杜瓦瓶、真空泵、温度控制器等——开箱即可采集数据。
Ø 一体实现光致发光与拉曼测量
对紫外线发色和区域进行了峰值拉曼光谱分析，发现了硅-碳氢 (Si-CH) 键结构的污染物。
From“Photoluminescence and Raman mapping of β- Ga2O3," AIP Advances (2021)"
光致发光 (PL) 图谱揭示了氧化镓（Ga₂O₃） 材料中的缺陷分布。
From“Localized UV emitters on the surface of Ga2O3," Scientific Reports (2020)
（a）为TiO2的拉曼图谱，图中标注了锐钛矿、金红石和无定形相的区域。
（b）为选定区域的拉曼光谱。From “Localized phase transition of TiO2 thin films induced by sub-bandgap laser irradiation," J. Vac. Sci. Tech. A (2021).
波长组件模块
Near IR | |
激光器 | 975 nm 激光器，30-100 mW |
光谱仪 | NIRQuest+, 900-1700 nm |
Near IR,Raman | |
激光器 | 785 nm 激光器，250 mW |
光谱仪 | QE Pro, 100-2800 cm-1 |
Red | |
激光器 | 635 nm 激光器，1-2 mW |
光谱仪 | Maya Pro，635-1060 nm |
Green | |
激光器 | 532 nm 激光器，4-5 mW |
光谱仪 | Maya Pro，532-960nm |
Green,Raman | |
激光器 | 532 nm 激光器，30-140 mW |
光谱仪 | QE Pro, 90-4000 cm-1 |
Violet | |
激光器 | 405 nm 激光器，1-2 mW |
光谱仪 | Maya Pro，405-840 nm |
Near UV | |
激光器 | 349 nm 激光器，0-20 mW |
光谱仪 | Maya Pro，349-780 nm |
Deep UV | |
激光器 | 266 nm 激光器，5 mW |
光谱仪 | Maya Pro，266-700 nm |
即用型模块，安装调试简单，支持定制化组件
| 系统选型
Ø Standard Microscope 标准显微系统
u 核心定位：基础入门配置
u 主要特点：不含光谱仪
u 适用场景：基本显微观察需求
Ø Mini Pro Microscope 显微光谱系统
u 核心定位：主力科研型号
u 主要特点：集成光谱分析功能，支持PL、拉曼、光电流等多种测量模式
u 适用场景：全面的材料光谱分析研究
Ø Premium Microscope 晶圆级显微光谱系统
u 核心定位：专业配置
u 主要特点：针对晶圆级样品优化，具备更大扫描范围
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