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产品详细页

MFA 系列微型钢线性位移台

简要描述:MFA 系列微型钢线性位移台,采用极为紧凑的封装,具有出色的热稳定性、刚度和载重能力。相对于位移台的尺寸,微型 MFA 是一种低成本选择,可在空间受限的应用中实现精密运动。

全钢结构可以实现高刚度和热稳定性
紧凑型设计用于空间有限的应用
刚性双列线性滚珠轴承
真空兼容版本至 10-6 hPa。
即插即用 - ESP 兼容
高分辨率及编码器反馈可实现 100 nm 灵敏度的超平滑运动

  • 产品型号:
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2024-03-25
  • 访  问  量:194

产品介绍

品牌Newport/美国价格区间面议
产地类别进口产品种类电动
应用领域综合

MFA 系列微型钢线性位移台产品规格

型号image.png
MFA-PPDMFA-CCMFA-CCV6
行程范围25 mm25 mm25 mm
最大速度1 mm/s2.5 mm/s1.25 mm/s
中心负载能力50 N50 N25 N
轴向负载 (+Cx)10 N10 N5 N
逆轴向负载能力 (-Cx)-10 N-10 N-5 N
最小位移增量100 nm100 nm100 nm
精度,典型值±0.9 µm±0.7 µm±1.0 µm
精度,保证值±3.0 µm±3.0 µm±3.0 µm
单向重复精度,典型值±0.12 µm±0.08 µm±0.08 µm
单向重复精度,保证值±0.25 µm±0.15 µm±0.15 µm
双向重复精度,保证值±0.75 µm±0.75 µm±1.0 µm
双向重复精度,典型值±0.2 µm±0.15 µm±0.2 µm
俯仰,典型值±25 µrad±25 µrad±25 µrad
俯仰,保证值±100 µrad±100 µrad±100 µrad
俯仰顺应性80 µrad/Nm80 µrad/Nm80 µrad/Nm
偏摆,典型值±30 µrad±30 µrad±30 µrad
偏摆,保证值±50 µrad±50 µrad±50 µrad
偏摆顺应性80 µrad/Nm80 µrad/Nm80 µrad/Nm
滚转顺应性60 µrad/Nm60 µrad/Nm60 µrad/Nm
原点重复精度±2.5 µm±2.5 µm±2.5 µm
驱动方式Stepper MotorDC MotorDC Motor
轴承Double-Row Ball BearingsDouble-Row Ball BearingsDouble-Row Ball Bearings
螺纹类型M2 and M3M2 and M3M2 and M3
电缆长度3 m3 m1.5 m
真空兼容性NoNo10-6 Torr
MTBF10,000 h (25% load, 30% Duty cycle)10,000 h (25% load, 30% Duty cycle)10,000 h (25% load, 30% Duty cycle)
Compliance








MFA 系列微型钢线性位移台特征

双排线性滚珠轴承滑轨

Newport专有的双列直线球轴承设计具有直接加工到平台结构框架中的轴承方式,可实现非常顺畅的行程,更长的耐用性和更长的使用寿命。 与使用商用轴承的其他解决方案相比,MFA线性位移台具有更高的负载能力和刚度,并且俯仰和偏航误差也较小。

带有高分辨率反馈的高速直流电机


直流电动机的最大特点是速度快,运动平稳,效率高,功率/重量比高。MFA-CC直流电动机具有一个集成的齿轮箱和一个电动机安装的旋转编码器。这个2,048 cts / rev 高分辨率的旋转编码器提供位置反馈。 结合低摩擦机械设计,MFA-CC可提供100纳米灵敏度的超平滑运动。 更快的运动,更高的可靠性和更低的游隙使直流电动机驱动的位移台非常适合要求小增量运动,高动态速度和良好重复性的应用。

经济型微米步进电机


对于要求不高的应用,步进电机可能是比直流电机更经济的解决方案。 步进电动机使用磁吸和排斥的基本原理进行操作,将数字脉冲转换为机械轴的旋转。 为了提高运动的分辨率和平滑度,MFA-PPD具有微米步进功能,这是一种将运动的完整步长以电子方式划分为大量局部步长的方法。

全钢结构

全钢机身允许使用更为紧凑的设计,使之具有出色的刚度重量比、更高的热稳定性和载重能力。

运行端点限位开关

平移台两端具有运行端点限位开关,以防止平移台因超程而受损。


顶板和底板

有关更多用途和安装选项,顶板和底板 可以单独订购实现垂直(Z轴)安装和光学平台安装。 对于垂直安装,请注意,垂直(Z轴)平台应连接到MFA- BK 。首先(通过MFA-BK的两个沉孔M3孔),然后可以通过MFA-BK的四个沉孔M2孔将组合安装到水平(X轴或Y轴)平台上。



真空兼容版本

MFA-CCV6 是 MFA 的真空兼容版本,可兼容 10-6 hPa。

CONEX 控制器版本

Newport还提供了集成CONEX控制器的直流电机线性工作台CONEX-MFACC。对于开箱即用的控制,CONEX控制器是预配置的,并与MFA-CC级一起交付。

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MFA平移台负载特性

Compatible Controllers

适用于MFA系列级的兼容运动控制器有:

1.XPS-RLD运动控制器 (2或4轴):需要一个XPS-DRV11驱动模块。

2.XPS-D运动控制器(2、4、6或8轴):需要一个XPS-DRV11驱动模块

3.运动控制器 (1轴、2轴或3轴) :即插即用兼容。

4.SMC单轴运动控制器 (CC或PP): 即插即用兼容



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