MFA 系列微型钢线性位移台

简要描述：MFA 系列微型钢线性位移台，采用极为紧凑的封装，具有出色的热稳定性、刚度和载重能力。相对于位移台的尺寸，微型 MFA 是一种低成本选择，可在空间受限的应用中实现精密运动。

全钢结构可以实现高刚度和热稳定性
紧凑型设计用于空间有限的应用
刚性双列线性滚珠轴承
真空兼容版本至 10-6 hPa。
即插即用 - ESP 兼容
高分辨率及编码器反馈可实现 100 nm 灵敏度的超平滑运动

产品型号：
厂商性质：生产厂家
更新时间：2024-07-25
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产品介绍

品牌	Newport/美国	价格区间	面议
产地类别	进口	产品种类	电动
应用领域	综合

MFA 系列微型钢线性位移台产品规格

型号
型号	MFA-PPD	MFA-CC	MFA-CCV6
行程范围	25 mm	25 mm	25 mm
最大速度	1 mm/s	2.5 mm/s	1.25 mm/s
中心负载能力	50 N	50 N	25 N
轴向负载 (+Cx)	10 N	10 N	5 N
逆轴向负载能力 (-Cx)	-10 N	-10 N	-5 N
最小位移增量	100 nm	100 nm	100 nm
精度，典型值	±0.9 µm	±0.7 µm	±1.0 µm
精度，保证值	±3.0 µm	±3.0 µm	±3.0 µm
单向重复精度，典型值	±0.12 µm	±0.08 µm	±0.08 µm
单向重复精度，保证值	±0.25 µm	±0.15 µm	±0.15 µm
双向重复精度，保证值	±0.75 µm	±0.75 µm	±1.0 µm
双向重复精度，典型值	±0.2 µm	±0.15 µm	±0.2 µm
俯仰，典型值	±25 µrad	±25 µrad	±25 µrad
俯仰，保证值	±100 µrad	±100 µrad	±100 µrad
俯仰顺应性	80 µrad/Nm	80 µrad/Nm	80 µrad/Nm
偏摆，典型值	±30 µrad	±30 µrad	±30 µrad
偏摆，保证值	±50 µrad	±50 µrad	±50 µrad
偏摆顺应性	80 µrad/Nm	80 µrad/Nm	80 µrad/Nm
滚转顺应性	60 µrad/Nm	60 µrad/Nm	60 µrad/Nm
原点重复精度	±2.5 µm	±2.5 µm	±2.5 µm
驱动方式	Stepper Motor	DC Motor	DC Motor
轴承	Double-Row Ball Bearings	Double-Row Ball Bearings	Double-Row Ball Bearings
螺纹类型	M2 and M3	M2 and M3	M2 and M3
电缆长度	3 m	3 m	1.5 m
真空兼容性	No	No	10-6 Torr
MTBF	10,000 h (25% load, 30% Duty cycle)	10,000 h (25% load, 30% Duty cycle)	10,000 h (25% load, 30% Duty cycle)
Compliance

MFA 系列微型钢线性位移台特征

双排线性滚珠轴承滑轨

Newport专有的双列直线球轴承设计具有直接加工到平台结构框架中的轴承方式，可实现非常顺畅的行程，更长的耐用性和更长的使用寿命。与使用商用轴承的其他解决方案相比，MFA线性位移台具有更高的负载能力和刚度，并且俯仰和偏航误差也较小。

带有高分辨率反馈的高速直流电机

直流电动机的最大特点是速度快，运动平稳，效率高，功率/重量比高。MFA-CC直流电动机具有一个集成的齿轮箱和一个电动机安装的旋转编码器。这个2,048 cts / rev 高分辨率的旋转编码器提供位置反馈。结合低摩擦机械设计，MFA-CC可提供100纳米灵敏度的超平滑运动。更快的运动，更高的可靠性和更低的游隙使直流电动机驱动的位移台非常适合要求小增量运动，高动态速度和良好重复性的应用。