MLT 薄型铝制直线电机平台

简要描述：MLT 薄型铝制直线电机平台紧凑、薄型、高精度线性位移台将 XM 系列的超精密性能与VP 线性位移台系列的紧凑性相结合。这些位移台集合了适用于各种工业应用的MKS精密位移台的最新创新设计和专业知识，同时包含了与 MKS 运动控制器一起使用所需的基本设置。

MLT 位移台非常适合半导体、工业及科研中的典型扫描或点对点应用，用于计量、传感器测试和校准、对准和拾放组装。

产品型号：
厂商性质：生产厂家
更新时间：2024-07-25
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产品介绍

品牌	Newport/美国	价格区间	面议
产地类别	进口	产品种类	电动
应用领域	综合

MLT 薄型铝制直线电机平台产品规格

型号
型号	MLT25	MLT50	MLT100	MLT200	MLT250
行程范围	25 mm	50 mm	100 mm	200 mm	250 mm
最大速度	500 mm/s	500 mm/s	500 mm/s	500 mm/s	500 mm/s
最小位移增量	5 nm	5 nm	5 nm	5 nm	5 nm
最大加速度	0.75 g	0.75 g	0.75 g	0.5 g	0.5 g
最大持续力	3 N	3 N	3 N	3 N	3 N
中心负载能力	50 N	70 N	70 N	70 N	70 N
精度，保证值	±0.5 µm	±0.7 µm	±1.25 µm	±2.5 µm	±3 µm
双向重复精度，保证值	±0.15 µm	±0.15 µm	±0.15 µm	±0.15 µm	±0.15 µm
典型平面度	±1 µm	±2 µm	±3 µm	±5 µm	±10 µm
直线度，保证值	±1 µm	±2 µm	±3 µm	±5 µm	±5 µm
俯仰，保证值	±50 µrad	±75 µrad	±75 µrad	±150 µrad	±200 µrad
偏摆，保证值	±50 µrad	±75 µrad	±75 µrad	±125 µrad	±150 µrad
驱动方式	Linear Motor	Linear Motor	Linear Motor	Linear Motor	Linear Motor
螺纹类型	M4	M4	M4	M4	M4
重量	1.5 kg	1.7 kg	2.1 kg	3.1 kg	3.6 kg
MTBF	20,000 h (100% load, 60% duty cycle)	20,000 h (100% load, 60% duty cycle)	20,000 h (100% load, 60% duty cycle)	20,000 h (100% load, 60% duty cycle)	20,000 h (100% load, 60% duty cycle)
Compliance

MLT 薄型铝制直线电机平台特征

可靠的设计

每个 MLT 平台的底座均采用高强度铝合金制成，采用有限元方法 (FEM) 进行优化，以获得最高的刚度和最佳的热性能。选择部件，如长寿命和高负载交叉滚子轴承、大力直线电机和高精度直线编码器，同时考虑了性能和可靠性。内置限位开关可防止超程和碰撞。进行了大量测试以确保MLT的高可靠性性能。

Ironless Motor

MLT series stages are equipped with MKS designed ironless motors that include hall effect sensors and thermistor in a very compact size. Compared to iron core motors, the main advantage of ironless motors is better speed stability (no cogging) and shorter settling time, which is critical for fiber alignment applications.