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产品详细页

MLT 薄型铝制直线电机平台

简要描述:MLT 薄型铝制直线电机平台紧凑、薄型、高精度线性位移台将 XM 系列的超精密性能与VP 线性位移台系列的紧凑性相结合。 这些位移台集合了适用于各种工业应用的MKS精密位移台的最新创新设计和专业知识,同时包含了与 MKS 运动控制器一起使用所需的基本设置。

MLT 位移台非常适合半导体、工业及科研中的典型扫描或点对点应用,用于计量、传感器测试和校准、对准和拾放组装。

  • 产品型号:
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2024-07-25
  • 访  问  量:233

产品介绍

品牌Newport/美国价格区间面议
产地类别进口产品种类电动
应用领域综合

MLT 薄型铝制直线电机平台产品规格

型号image.png
MLT25MLT50MLT100MLT200MLT250
行程范围25 mm50 mm100 mm200 mm250 mm
最大速度500 mm/s500 mm/s500 mm/s500 mm/s500 mm/s
最小位移增量5 nm5 nm5 nm5 nm5 nm
最大加速度0.75 g0.75 g0.75 g0.5 g0.5 g
最大持续力3 N3 N3 N3 N3 N
中心负载能力50 N70 N70 N70 N70 N
精度,保证值±0.5 µm±0.7 µm±1.25 µm±2.5 µm±3 µm
双向重复精度,保证值±0.15 µm±0.15 µm±0.15 µm±0.15 µm±0.15 µm
典型平面度±1 µm±2 µm±3 µm±5 µm±10 µm
直线度,保证值±1 µm±2 µm±3 µm±5 µm±5 µm
俯仰,保证值±50 µrad±75 µrad±75 µrad±150 µrad±200 µrad
偏摆,保证值±50 µrad±75 µrad±75 µrad±125 µrad±150 µrad
驱动方式Linear MotorLinear MotorLinear MotorLinear MotorLinear Motor
螺纹类型M4M4M4M4M4
重量1.5 kg1.7 kg2.1 kg3.1 kg3.6 kg
MTBF20,000 h (100% load, 60% duty cycle)20,000 h (100% load, 60% duty cycle)20,000 h (100% load, 60% duty cycle)20,000 h (100% load, 60% duty cycle)20,000 h (100% load, 60% duty cycle)
Compliance



MLT 薄型铝制直线电机平台特征

可靠的设计

每个 MLT 平台的底座均采用高强度铝合金制成,采用有限元方法 (FEM) 进行优化,以获得最高的刚度和最佳的热性能。 选择部件,如长寿命和高负载交叉滚子轴承、大力直线电机和高精度直线编码器,同时考虑了性能和可靠性。 内置限位开关可防止超程和碰撞。 进行了大量测试以确保MLT的高可靠性性能。

Ironless Motor

MLT series stages are equipped with MKS designed ironless motors that include hall effect sensors and thermistor in a very compact size. Compared to iron core motors, the main advantage of ironless motors is better speed stability (no cogging) and shorter settling time, which is critical for fiber alignment applications.

低运维成本

MLT 系列紧凑、薄型和快速平台占用更少的空间,以更高的加速度和速度运行,降低了运行成本。 此外,由于它们的高可靠性设计,它们需要的初始投入低且需要的维护更少。


XY 和 XYZ 配置

MLT 可以利用可用的安装孔安装到 XY 和 XYZ 堆栈中。 X 和 Y 阶之间需要磁屏蔽 MLT-XYPLATE 。 也可根据需要提供拖链。 预组装的 XYZ 堆栈可用于短行程范围。 Z 平台具有磁性配重以适应一系列垂直负载,同时保持出色的定位性能。

即插即用 ESP 兼容

MLT 兼容支持即插即用 ESP 技术的 XPS 系列标准 MKS 控制器,无需复杂的驱动程序配置即可轻松启动。 (注意XY配置需要手动设置参数。)

负载特性

Compatible Controllers

Compatible motion controllers for these XM series linear motor/direct drive driven stages are:


●XPS-RLD Motion Controller (2 or 4 Axis): Requires an XPS-DRV11 Driver Module.

●XPS-D Motion Controller (2 , 4 , 6  or 8 Axis): Requires an XPS-DRV11 Driver Module.

See our Stage-Controller Compatibility technical note for complete stages and controllers compatibility.





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