XM 超精密线性电机平移台

产品介绍

XM 超精密线性电机平移台产品规格

型号
	XMS50-S	XMS100-S	XMS160-S	XML210-S	XML350-S
行程范围	50 mm	100 mm	160 mm	210 mm	350 mm
最大速度	300 mm/s	300 mm/s	300 mm/s	300 mm/s	300 mm/s
中心负载能力	100 N	100 N	100 N	300 N	300 N
精度，典型值	±0.2 µm	±0.3 µm	±0.5 µm	±0.5 µm	±0.5 µm
精度，保证值	±0.75 µm	±0.75 µm	±0.75 µm	±1.5 µm	±1.5 µm
最小位移增量 2	1 nm	1 nm	1 nm	1 nm	1 nm
双向重复精度，典型值	±0.030 µm	±0.030 µm	±0.030 µm	±0.032 µm	±0.035 µm
双向重复精度，保证值	±0.040 µm	±0.040 µm	±0.040 µm	±0.040 µm	±0.040 µm
连续运动力 3	25 N	25 N	25 N	50 N	50 N
峰值驱动力	100 N	100 N	100 N	240 N	240 N
偏摆，典型值	±10 µrad	±10 µrad	±10 µrad	±10 µrad	±10 µrad
偏摆，保证值	±25 µrad	±25 µrad	±25 µrad	±40 µrad	±40 µrad
俯仰，典型值	±10 µrad	±12 µrad	±12 µrad	±15 µrad	±20 µrad
俯仰，保证值	±25 µrad	±25 µrad	±25 µrad	±50 µrad	±50 µrad
平面度，典型值（保证值） 4	±0.37 (±0.75) µm	±0.37 (±0.75) µm	±0.37 (±0.75) µm	±0.75 (±1.50) µm	±0.75 (±1.50) µm
直线度典型值（保证值） 5	±0.37 (±0.75) µm	±0.37 (±0.75) µm	±0.37 (±0.75) µm	±0.75 (±1.50) µm	±0.75 (±1.50) µm
俯仰顺应性	6.0 µrad/Nm	2.5 µrad/Nm	2.0 µrad/Nm	2.0 µrad/Nm	0.7 µrad/Nm
偏摆顺应性	8.0 µrad/Nm	3.5 µrad/Nm	2.0 µrad/Nm	1.0 µrad/Nm	0.2 µrad/Nm
滚转顺应性	3.5 µrad/Nm	2.0 µrad/Nm	1.5 µrad/Nm	0.5 µrad/Nm	0.1 µrad/Nm
原点重复精度	±0.025 µm	±0.025 µm	±0.025 µm	±0.025 µm	±0.025 µm
重量	2.5 kg	3.5 kg	4.5 kg	13 kg	22 kg
MTBF	20,000 h (25% load, 30% duty cycle)	20,000 h (25% load, 30% duty cycle)	20,000 h (25% load, 30% duty cycle)	20,000 h (25% load, 30% duty cycle)	20,000 h (25% load, 30% duty cycle)

注释:

1. 最大速度取决于驱动器。 联系Newport以获得更多信息。

2. 最小增量运动（MIM） 取决于驱动器类型和环境，有关更多信息，请查阅数据表。

3. 连续运动力与驱动器相关。联系Newport 以了解更多信息。

4. 行程中部80%。要得到弧秒单位，请将 µrad 值除以 4.8。

XM 超精密线性电机平移台特征

适用于激光加工应用

XM平移台是激光微加工、标记、切割和纳米图案形成等应用的理想平移台。此视频显示两个XM平移台堆叠在由NewportXPS控制器驱动的2轴(XY)系统中，用于与振镜扫描器同步的复杂、平滑、超高精度运动。

3轴超精密

XM系列直接驱动平移台为苛刻的应用提供超高精度运动。此视频显示由两个XM平移台和一个xms-v垂直平移台组成的组件，该组件提供3个轴(XYZ)的运动，可用于聚焦、传感器测试/校准、直接激光光刻和精密组装等应用。

可以通过命令控制 1 nm 位移步长

超精密设计和 Heidenhain 光栅尺使 XM 线性平移台系列能够在受控环境中通过一致的命令控制 1 nm MIM。

XM-S平移台能够在受控环境中使用XPS-D控制器进行1-nm增量运动。

创新的中心驱动、无铁、直接驱动线性电机

与螺钉驱动平移台不同，XM采用中心驱动、无铁芯线性电机作为驱动元件。由于线性电机是无摩擦的直接驱动设备，因此没有限制运动性能的侧隙或滞后、卷绕或静摩擦。线性电机驱动器还具有更高的速度、加速度和系统响应性的优点，同时没有电机电刷或驱动螺钉的磨损。超大、无铁芯电机线圈能确保零齿槽，实现超平滑速度控制，与其他平移台设计相比，具有更高的效率。这将导致产生的热量显著减少，发热通常是超精密运动应用的主要限制因素。为了进一步改善热管理及其对平移台性能的影响，XM 平移台还具有一个优点，其磁轨和平移台托架之间采用了成熟的全程去耦机制。

XM平移台在连续扫描或激光加工应用中提供出色的速度稳定性。 显示的是使用干涉仪以1 kHz的速率收集的XMS50的速度。

配套的抗蠕变交叉滚子轴承可实现超高精密控制

为了确保精确的轨迹控制，XM平移台具有配套的同类最佳防蠕动式交叉滚子轴承对。这些轴承中没有再循环元件，因此可以为苛刻的扫描和检测系统提供充足的无波纹运动。而且，齿轮保持架会防止轴承罩移位，其他直线轴承产品可能出现此类移位。

线性误差校正后XMS50-S平移台的精度，当级以100毫米/秒的速度运动时，以10 khz的速率动态测量。

面向最佳 XY 组件的 T 形托架设计

在 XM 上使用的 T 形托架为精密 XY 组件提供了最佳解决方案，同时不会影响平移台预载荷。与具有 C 形托架设计的平移台相比，它更加坚固，并能适应非理想的安装条件。

具有超表面平整度的花岗岩底座

表面平整度是影响运动系统定位精度和可重复定位精度的主要因素。经过研磨的花岗岩板是市面上可以买到的最平坦表面之一。花岗岩具有紧密的平面度公差和较高的硬度，使其成为补充 Newport 超精密线性电机 XM 系列平移台的必然选择。GB 系列花岗岩底座采用 3 点安装，可安装在非平面平台上。边缘手柄可用于处理底座以及将底座定位在工作表面上。

误差显示服务

对于苛刻的定位应用，Newport提供微定位校准服务。当我们的XPS高级运动控制系统发出指令时，我们将创建、实施和验证电子补偿过程，从而提高 Newport XM 平移台的绝对位置精度。此外，还可以使用多轴微定位校准服务。 测试在20.0±0.2℃下进行。 您的平移台将提供校准证书，也可根据要求提供实际数据。

用于超可重复移动的高精密线性玻璃标尺

高精密线性标尺提供了精确的位置反馈。该低热膨胀标尺精确对准并安装在平移台中心，将温度变化对平移台的可重复定位性和定位精度的影响降至很低。编码器信号由具有亚纳米分辨率和小于 1 nm 噪声的 Newport XPS 运动控制器进行插值，从而实现出色的定位灵敏度和稳定性。绝对原点位置和极限信号集成到编码器标尺上，无需任何其他电子或机械结构，便可提高可靠性和精度。

通过精密制造实现超高性能

XM平移台是由应力消除的高强度铝加工而成，能确保长期的强度和稳定性。所有关键的平移台表面都进行多次加工，然后在严格的温度和质量控制下进行精密磨削，以进一步提高整体性能和精度。

节省空间的高可靠性设计

所有 XM 平移台电子设备都固定到稳定的底座，因此平移台内部没有移动电缆。这种设计非常紧凑，并具有出色的可靠性和安全性。节省空间的固定读头设计避免了在平移台内部添加移动电缆，并加强了 XM 平移台的稳健性和可靠性，例如将 MTBF 提高到 20,000 小时。

免费提供计量报告

Newport保证按照ASME B5.57和ISO 230-2标准测量和记录的规范值。典型性能值是保证规格的两倍。

XM系列平移台负载特性

Compatible Controllers

Compatible motion controllers for these XM series linear motor/direct drive driven stages are:

●XPS-RLD Motion Controller (2 or 4 Axis): Requires an XPS-DRV11 Driver Module and XPS-DK22 Cable Kit.

●XPS-D Motion Controller (2 , 4 , 6  or 8 Axis): Requires an XPS-DRV11 Driver Module, and XPS-DK22 Cable Kit.

See our Stage-Controller Compatibility technical note for complete stages and controllers compatibility.