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产品详细页

XM 超精密线性电机平移台

简要描述:XM 超精密线性电机平移台可提供持续、可靠的动力性能,运动精度可以达到 1 nm。如此强大的定位能力使其成为各种要求苛刻、突破性应用的理想选择。

性能超高,最小增量运动为 1 nm
非接触直接驱动系统,精度超高、动态性能优异且操作可靠
亚纳米级高精度玻璃标度编码器,重复精度为 80 nm
超大型无铁心高效率线性电机可最大限度地减少发热
静音抗蠕变交叉滚子轴承可确保无波纹运动

  • 产品型号:
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2024-03-25
  • 访  问  量:322

产品介绍

品牌Newport/美国价格区间面议
产地类别进口产品种类电动
应用领域综合

XM 超精密线性电机平移台产品规格

型号image.png
XMS50-SXMS100-SXMS160-SXML210-SXML350-S
行程范围50 mm100 mm160 mm210 mm350 mm
最大速度300 mm/s300 mm/s300 mm/s300 mm/s300 mm/s
中心负载能力100 N100 N100 N300 N300 N
精度,典型值±0.2 µm±0.3 µm±0.5 µm±0.5 µm±0.5 µm
精度,保证值±0.75 µm±0.75 µm±0.75 µm±1.5 µm±1.5 µm
最小位移增量 21 nm1 nm1 nm1 nm1 nm
双向重复精度,典型值±0.030 µm±0.030 µm±0.030 µm±0.032 µm±0.035 µm
双向重复精度,保证值±0.040 µm±0.040 µm±0.040 µm±0.040 µm±0.040 µm
连续运动力 325 N25 N25 N50 N50 N
峰值驱动力100 N100 N100 N240 N240 N
偏摆,典型值±10 µrad±10 µrad±10 µrad±10 µrad±10 µrad
偏摆,保证值±25 µrad±25 µrad±25 µrad±40 µrad±40 µrad
俯仰,典型值±10 µrad±12 µrad±12 µrad±15 µrad±20 µrad
俯仰,保证值±25 µrad±25 µrad±25 µrad±50 µrad±50 µrad
平面度,典型值(保证值) 4±0.37 (±0.75) µm±0.37 (±0.75) µm±0.37 (±0.75) µm±0.75 (±1.50) µm±0.75 (±1.50) µm
直线度典型值(保证值) 5±0.37 (±0.75) µm±0.37 (±0.75) µm±0.37 (±0.75) µm±0.75 (±1.50) µm±0.75 (±1.50) µm
俯仰顺应性6.0 µrad/Nm2.5 µrad/Nm2.0 µrad/Nm2.0 µrad/Nm0.7 µrad/Nm
偏摆顺应性8.0 µrad/Nm3.5 µrad/Nm2.0 µrad/Nm1.0 µrad/Nm0.2 µrad/Nm
滚转顺应性3.5 µrad/Nm2.0 µrad/Nm1.5 µrad/Nm0.5 µrad/Nm0.1 µrad/Nm
原点重复精度±0.025 µm±0.025 µm±0.025 µm±0.025 µm±0.025 µm
重量2.5 kg3.5 kg4.5 kg13 kg22 kg
MTBF20,000 h (25% load, 30% duty cycle)20,000 h (25% load, 30% duty cycle)20,000 h (25% load, 30% duty cycle)20,000 h (25% load, 30% duty cycle)20,000 h (25% load, 30% duty cycle)
注释:
  1. 最大速度取决于驱动器。 联系Newport以获得更多信息。

  2. 最小增量运动(MIM) 取决于驱动器类型和环境,有关更多信息,请查阅数据表。

  3. 连续运动力与驱动器相关。联系Newport 以了解更多信息。

  4. 行程中部80%。要得到弧秒单位,请将 µrad 值除以 4.8。

XM 超精密线性电机平移台特征

适用于激光加工应用

XM平移台是激光微加工、标记、切割和纳米图案形成等应用的理想平移台。此视频显示两个XM平移台堆叠在由NewportXPS控制器驱动的2轴(XY)系统中,用于与振镜扫描器同步的复杂、平滑、超高精度运动。

3轴超精密

XM系列直接驱动平移台为苛刻的应用提供超高精度运动。此视频显示由两个XM平移台和一个xms-v垂直平移台组成的组件,该组件提供3个轴(XYZ)的运动,可用于聚焦、传感器测试/校准、直接激光光刻和精密组装等应用。

可以通过命令控制 1 nm 位移步长

超精密设计和 Heidenhain 光栅尺使 XM 线性平移台系列能够在受控环境中通过一致的命令控制 1 nm MIM。

XM-S平移台能够在受控环境中使用XPS-D控制器进行1-nm增量运动。

创新的中心驱动、无铁、直接驱动线性电机

与螺钉驱动平移台不同,XM采用中心驱动、无铁芯线性电机作为驱动元件。由于线性电机是无摩擦的直接驱动设备,因此没有限制运动性能的侧隙或滞后、卷绕或静摩擦。线性电机驱动器还具有更高的速度、加速度和系统响应性的优点,同时没有电机电刷或驱动螺钉的磨损。超大、无铁芯电机线圈能确保零齿槽,实现超平滑速度控制,与其他平移台设计相比,具有更高的效率。这将导致产生的热量显著减少,发热通常是超精密运动应用的主要限制因素。为了进一步改善热管理及其对平移台性能的影响,XM 平移台还具有一个优点,其磁轨和平移台托架之间采用了成熟的全程去耦机制。

XM平移台在连续扫描或激光加工应用中提供出色的速度稳定性。 显示的是使用干涉仪以1 kHz的速率收集的XMS50的速度。

配套的抗蠕变交叉滚子轴承可实现超高精密控制

为了确保精确的轨迹控制,XM平移台具有配套的同类最佳防蠕动式交叉滚子轴承对。这些轴承中没有再循环元件,因此可以为苛刻的扫描和检测系统提供充足的无波纹运动。而且,齿轮保持架会防止轴承罩移位,其他直线轴承产品可能出现此类移位。

线性误差校正后XMS50-S平移台的精度,当级以100毫米/秒的速度运动时,以10 khz的速率动态测量。

面向最佳 XY 组件的 T 形托架设计

在 XM 上使用的 T 形托架为精密 XY 组件提供了最佳解决方案,同时不会影响平移台预载荷。与具有 C 形托架设计的平移台相比,它更加坚固,并能适应非理想的安装条件。

具有超表面平整度的花岗岩底座

表面平整度是影响运动系统定位精度和可重复定位精度的主要因素。经过研磨的花岗岩板是市面上可以买到的最平坦表面之一。花岗岩具有紧密的平面度公差和较高的硬度,使其成为补充 Newport 超精密线性电机 XM 系列平移台的必然选择。GB 系列花岗岩底座采用 3 点安装,可安装在非平面平台上。边缘手柄可用于处理底座以及将底座定位在工作表面上。

误差显示服务

对于苛刻的定位应用,Newport提供微定位校准服务。当我们的XPS高级运动控制系统发出指令时,我们将创建、实施和验证电子补偿过程,从而提高 Newport XM 平移台的绝对位置精度。此外,还可以使用多轴微定位校准服务。 测试在20.0±0.2℃下进行。 您的平移台将提供校准证书,也可根据要求提供实际数据。

用于超可重复移动的高精密线性玻璃标尺

高精密线性标尺提供了精确的位置反馈。该低热膨胀标尺精确对准并安装在平移台中心,将温度变化对平移台的可重复定位性和定位精度的影响降至很低。编码器信号由具有亚纳米分辨率和小于 1 nm 噪声的 Newport XPS 运动控制器进行插值,从而实现出色的定位灵敏度和稳定性。绝对原点位置和极限信号集成到编码器标尺上,无需任何其他电子或机械结构,便可提高可靠性和精度。


通过精密制造实现超高性能

XM平移台是由应力消除的高强度铝加工而成,能确保长期的强度和稳定性。所有关键的平移台表面都进行多次加工,然后在严格的温度和质量控制下进行精密磨削,以进一步提高整体性能和精度。

节省空间的高可靠性设计

所有 XM 平移台电子设备都固定到稳定的底座,因此平移台内部没有移动电缆。这种设计非常紧凑,并具有出色的可靠性和安全性。节省空间的固定读头设计避免了在平移台内部添加移动电缆,并加强了 XM 平移台的稳健性和可靠性,例如将 MTBF 提高到 20,000 小时。

免费提供计量报告

Newport保证按照ASME B5.57和ISO 230-2标准测量和记录的规范值。典型性能值是保证规格的两倍。

XM系列平移台负载特性

Compatible Controllers

Compatible motion controllers for these XM series linear motor/direct drive driven stages are:


●XPS-RLD Motion Controller (2 or 4 Axis): Requires an XPS-DRV11 Driver Module and XPS-DK22 Cable Kit.

●XPS-D Motion Controller (2 , 4 , 6  or 8 Axis): Requires an XPS-DRV11 Driver Module, and XPS-DK22 Cable Kit.

See our Stage-Controller Compatibility technical note for complete stages and controllers compatibility. 

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