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产品介绍
| 品牌 | Newport/美国 | 价格区间 | 面议 |
|---|---|---|---|
| 产地类别 | 进口 | 产品种类 | 电动 |
| 应用领域 | 综合 |
ZVR集成步进电机垂直和旋转台特征
ZVR集成步进电机垂直和旋转台有效载荷设计
ZVR 通过沿着旋转平台外圆周的三个点（以 120 度分开）刚性地支撑和驱动有效载荷。常规设计在旋转台中心使用一个单个凸轮、楔块或螺丝。具有串联导轨和驱动机制的 Newport 的三点设计具有很多优点，非常适用于轻微不平衡载荷应用（例如，晶片探测），可以沿着卡盘的外边缘位置施加垂直力。因这些偏心负载造成的角变形降低到最小程度，并且在垂直运动期间也不存在弯曲现象。
开放式孔径
ZVR 设计的一个重要性能是含有一个穿过转台中心的 50 mm 通光孔径，以支持通过电缆、线路和其他工具。
经济的步进电机版本
步进电机版本是一种更加经济实惠的版本，适用于要求较低的应用。步进电机版本不使用编码器反馈，但通过命令控制的步长和微步长的数量来到达某一位置。步进电机的一个优点是，即使在空转时也能提供全转矩。 ZVR平台与ESP兼容，允许用户在与Newport控制器一起使用时享受Newport的智能平台功能。
可调限位开关
ZVR 具有一个调节范围为 4 mm 的上限开关，使用户可以设置垂直行程的上限。
免费提供计量报告
Newport 保证根据 ASME B5.57 和 ISO 230-2 标准测量和记录的规格值。典型性能值比可保证值高出两倍。
Compatible Controllers
Compatible motion controllers for this stepper motor driven stage are:
●XPS-RLD Motion Controller (2 or 4 Axis): Requires an XPS-DRV11 Driver Module.
●XPS-D Motion Controller (2 , 4 , 6 or 8 Axis): Requires an XPS-DRV11 Driver Module.
●ESP302 Motion Controller (1 , 2 , or 3 Axis): Plug and Play compatible with ESP302 Motion Controller.
●SMC100PP Single Axis Motion Controller: 0.25 µm MIM for Z-axis and 1.0 mdeg for ϴ-axis when used with SMC100PP.
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