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ZVR集成步进电机垂直和旋转台

简要描述:ZVR集成步进电机垂直和旋转台集成了10mm的垂直(Z轴)和360的连续旋转(0轴)定位采用的三点驱动和轴承设计。它的设计主要是为了精确地提升和旋转200毫米/300毫米晶圆卡盘和其他需要调整以对齐物体方向或聚焦的样品或物体。在这一阶段使用的步进电机是一个成本较低的替代直流伺服系统的要求不高的应用。运行开环。脉搏计数是一个很好的位置指示器

  • 产品型号:
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2024-07-25
  • 访  问  量:391

产品介绍

品牌Newport/美国价格区间面议
产地类别进口产品种类电动
应用领域综合

ZVR集成步进电机垂直和旋转台特征

ZVR集成步进电机垂直和旋转台有效载荷设计


ZVR 通过沿着旋转平台外圆周的三个点(以 120 度分开)刚性地支撑和驱动有效载荷。常规设计在旋转台中心使用一个单个凸轮、楔块或螺丝。具有串联导轨和驱动机制的 Newport 的三点设计具有很多优点,非常适用于轻微不平衡载荷应用(例如,晶片探测),可以沿着卡盘的外边缘位置施加垂直力。因这些偏心负载造成的角变形降低到最小程度,并且在垂直运动期间也不存在弯曲现象。

开放式孔径

ZVR 设计的一个重要性能是含有一个穿过转台中心的 50 mm 通光孔径,以支持通过电缆、线路和其他工具。

经济的步进电机版本


步进电机版本是一种更加经济实惠的版本,适用于要求较低的应用。步进电机版本不使用编码器反馈,但通过命令控制的步长和微步长的数量来到达某一位置。步进电机的一个优点是,即使在空转时也能提供全转矩。 ZVR平台与ESP兼容,允许用户在与Newport控制器一起使用时享受Newport的智能平台功能。

可调限位开关


ZVR 具有一个调节范围为 4 mm 的上限开关,使用户可以设置垂直行程的上限。

免费提供计量报告

Newport 保证根据 ASME B5.57 和 ISO 230-2 标准测量和记录的规格值。典型性能值比可保证值高出两倍。

Compatible Controllers

Compatible motion controllers for this stepper motor driven stage are:


●XPS-RLD Motion Controller (2 or 4 Axis): Requires an XPS-DRV11 Driver Module.

●XPS-D Motion Controller (2 , 4 , 6 or 8 Axis): Requires an XPS-DRV11 Driver Module.

●ESP302 Motion Controller (1 , 2 , or 3 Axis): Plug and Play compatible with ESP302 Motion Controller.

●SMC100PP  Single Axis Motion Controller: 0.25 µm MIM for Z-axis and 1.0 mdeg for ϴ-axis when used with SMC100PP.


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