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  • RGA 系列薄型高速高重复性直驱旋转平台

    RGA 薄型高速旋转台非常适合需要低质量和大孔径的工业应用,但需要快速和精确地旋转晶圆卡盘等样品架。 快速旋转、薄型、大光圈 高重复性 低摆动和低偏心率 高扭矩和高加速度 全钢结构,具有高刚度和热稳定性 即插即用 ESP 兼容性

    型号:
    更新日期:2024-03-25
  • RGV 系列高速精密旋转台

    RGV 可用于半导体晶片检测、微型机器人、精密计量和运动模拟器等应用,特别适用于 MEMS、陀螺仪和加速度计测试。 直接驱动可以实现高达 1000 deg/s 的优异速度,而且可靠性高。 大直径、钢制滚珠轴承,刚度高、摆动低以及载重能力高。 精密玻璃标度编码器可以实现高位置重复性、MIM 和高精度。 高扭矩直流无刷电机,最大扭矩为 112 Nm。

    型号:
    更新日期:2024-03-25
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