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RGA 系列薄型高速高重复性直驱旋转平台

简要描述:RGA 薄型高速旋转台非常适合需要低质量和大孔径的工业应用,但需要快速和精确地旋转晶圆卡盘等样品架。

快速旋转、薄型、大光圈
高重复性
低摆动和低偏心率
高扭矩和高加速度
全钢结构,具有高刚度和热稳定性
即插即用 ESP 兼容性

  • 产品型号:
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2024-03-25
  • 访  问  量:148

产品介绍

品牌Newport/美国价格区间面议
产地类别进口产品种类电动
应用领域综合

产品型号

型号规格
RGA150电动旋转位移台,高速,薄款设计
RGA150MAP电动旋转位移台,高速,薄款设计

产品规格

型号RGA150RGA150MAP
角度范围360 °360 °
最大速度1800 °/s1800 °/s
最小位移增量0.01 mdeg0.01 mdeg
峰值驱动扭矩11 Nm11 Nm
中心负载能力50 N50 N
双向重复精度,典型值±0.0975 mdeg±0.0975 mdeg
精度,典型值±4 mdeg
精度,保证值±8 mdeg±1 mdeg
摆动,典型值±12 µrad±12 µrad
摆动,保证值±26 µrad±26 µrad
偏心率,典型值±0.5 µm±0.5 µm
偏心率,保证值±1 µm±1 µm
孔径90 mm90 mm
MTBF20,000 hours @ 30% duty cycle20,000 hours @ 30 % duty cycle
电缆长度5 m5 m
重量4.5 kg4.5 kg


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