CONEX-AG-GON 系列为压电电机驱动的测角架，与闭环压电电机控制器/驱动器相集成。它使用带有内置编码器的压电电机，能够实现高位置可重复性。 高度可重复的角运动 高灵敏度 (MIM) 尺寸紧凑 价格合理，快速交付 集成且易于设置

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更新日期：2024-03-25

针对翻转和倾斜应用，BG 系列测角仪支持开放式施加负载。当两个 BG 平移台堆叠在一起时，样品将围绕公共枢转点旋转。 ±45° 横轴旋转，能够尽可能自由接近旋转平台 堆叠托架，可实现围绕同一枢轴点的正交旋转 精密机加工的滚珠轴承座圈，可确保平稳运动和高度稳定性 精密磨光蜗杆传动装置可提供 0.002° MIM 真空兼容版本，最高可达 10-6 hPa

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更新日期：2024-03-25

对于倾斜和倾斜应用，BG系列测角仪允许打开负载。当两个BG工作台堆叠在一起时，样品围绕一个共同的枢轴点旋转。这些步进电机测角仪适用于需要更高输出扭矩的应用。也可提供高达10-6hPa的真空兼容版本。

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更新日期：2024-03-25

RGA 薄型高速旋转台非常适合需要低质量和大孔径的工业应用，但需要快速和精确地旋转晶圆卡盘等样品架。 快速旋转、薄型、大光圈 高重复性 低摆动和低偏心率 高扭矩和高加速度 全钢结构，具有高刚度和热稳定性 即插即用 ESP 兼容性

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更新日期：2024-03-25

RGV 可用于半导体晶片检测、微型机器人、精密计量和运动模拟器等应用，特别适用于 MEMS、陀螺仪和加速度计测试。 直接驱动可以实现高达 1000 deg/s 的优异速度，而且可靠性高。 大直径、钢制滚珠轴承，刚度高、摆动低以及载重能力高。 精密玻璃标度编码器可以实现高位置重复性、MIM 和高精度。 高扭矩直流无刷电机，最大扭矩为 112 Nm。

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更新日期：2024-03-25

RVU旋转台的设计是为了满足需要高扭矩、高刚性和高灵敏度的大型反射镜支架的规格

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更新日期：2024-03-25