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用于晶片定位的集成垂直旋转台

简要描述:ZVR 利用三点驱动和轴承设计,集成了 Z 和 θ 定位,可以精确地升高和旋转晶圆卡盘。

薄型设计,垂直精度达 10 mm,角度行程持续为 360 度
三点式底部接口可以稳定安装到任何 XY 平移台或其他平台
中心孔径大,从而简化了真空和电缆管理
质量轻、固有频率高,从而可用于快速步进应用
不锈钢循环滚珠轴承
即插即用 - ESP 兼容

  • 产品型号:ZVR-PC
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2024-03-25
  • 访  问  量:213

产品介绍

品牌Newport/美国价格区间面议
产地类别进口产品种类电动
应用领域综合

特征

有效载荷设计

ZVR 通过沿着旋转平台外圆周的三个点(以 120 度分开)刚性地支撑和驱动有效载荷。常规设计在旋转台中心使用一个单个凸轮、楔块或螺丝。具有串联导轨和驱动机制的 Newport 的三点设计具有很多优点,非常适用于轻微到不平衡载荷应用(例如,晶片探测),可以沿着卡盘的外边缘位置施加垂直力。因这些偏心负载造成的角变形降低到最小程度,并且在垂直运动期间也不存在弯曲现象。

开放式孔径

ZVR 设计的一个重要性能是含有一个穿过转台中心的 50 mm 通光孔径,以支持通过电缆、线路和其他工具。

可调限位开关

ZVR 具有一个调节范围为 4 mm 的上限开关,使用户可以设置垂直行程的上限。

可调限位开关

ZVR 具有一个调节范围为 4 mm 的上限开关,使用户可以设置垂直行程的上限。

免费提供计量报告

Newport 保证根据 ASME B5.57 和 ISO 230-2 标准测量和记录的规格值。典型性能值比可保证值高出两倍。





COMPATIBLE CONTROLLERS

Compatible motion controllers for ZVR-PC are:


·XPS-RLD Motion Controller (2 or 4 Axis): Requires an XPS-DRV11 Driver Module.

·XPS-D Motion Controller (2 , 4 , 6 or 8 Axis): Requires an XPS-DRV11 Driver Module.

·ESP302 Motion Controller (1 , 2 , or 3 Axis): Plug and Play compatible with ESP302 Motion Controller.

·SMC100 Motion Controller: SMC100CC  for ϴ-axis and SMC100PP * for Z-axis.


* Minimum Incremental Motion for Z-axis is 0.25 µm with SMC100PP controller.


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